[P] P138~P159

[P151] Development of workflow to analyze atomic-resolution electron microscopy images without using programing code

*Kaito Mitani¹, Yukio Sato², Kenji Kaneko² (1. Dept. of Mater. Sci. and Eng. Kyushu Univ., 2. Dept. of Mater. Sci. and Eng. Kyushu Univ.)

Keywords:RPA、自動化、電子顕微鏡、誘電体

原子分解能STEM像からの原子位置解析は、単調な作業で多くの時間を浪費するプロセスである。本発表では、ロボティック・プロセス・オートメーション（RPA）で、原子位置解析を自動で行うソフトウエアを作成した。