15:30 〜 17:00
[P175] 三価クロムを用いたCr/Co多層膜の成膜と硬さの層厚依存性
キーワード：三価クロム、多層膜、硬さ
金属めっきの高強度化の一つである多層膜化技術に着目した．毒性の低い三価クロムとコバルトを多層化させて機械的特性の向上を試みた．また，Cr-Co合金膜を作製し，多層膜および合金膜の硬さを調べた．
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