[P] P176~P191

[P184] Ti-Al系コンビネーションスクリーンを用いた二段階プラズマ窒化処理

*楫本 竜生¹、星山 康洋¹、丸岡 智樹² (1. 関西大学、2. 京都市産業技術研究所)

キーワード：プラズマ窒化処理、ステンレス鋼、表面改質処理、金属製スクリーン、Ti-Al-N層

Ti-Al系コンビネーションスクリーンを用いてSUS304に一段階目に窒化層、二段階目にTi-Al-N層を窒化層上に形成させる二段階プラズマ窒化処理を施し、窒化層およびTi-Al-N層の形成と諸性質について検討した。