[P] P216~P235

[P217] Fabrication of Vanadium Oxide Films by Precise Oxidation of V Metal Foils

*Miho NAGATA¹, Mitsuhiro MATSUDA², Yuta HIMENO¹, Kenji SHIDA³, Motohide MATSUDA² (1. Grad. Sch. Sci. Tech. Kumamoto Univ., 2. Fac. Adv. Sci. Tech. Kumamoto Univ., 3. Tech. Div. Kumamoto Univ.)

Keywords:バナジウム酸化物、精密酸化制御、薄膜、構造解析

熱処理時の酸素分圧を制御することでバナジウムや酸素の拡散特性や酸素欠損を制御可能であると予想され、出発材料に金属V箔を用い、種々のバナジウム酸化物薄膜を作製し、その微細構造解析を行う。