[P] P54~P69

[P62] Comparative investigation of thickness ratio of Si-DLC interlayer with different raw material gas compositions and DLC film

*Shoya SAWADA¹, Akio NISHIMOTO² (1. Kansai University, 2. Kansai University)

Keywords:表面改質処理、CVD、DLC、Si-DLC、中間層、膜厚比

本研究では、Si含有DLC（Si-DLC）を中間層として利用し、原料ガス組成を変化させることに着目した。また、Si-DLC中間層とDLC膜の膜厚比を変化させた際の機械的特性への影響を調査した。