[P] P54~P69

[P62] 原料ガス組成を変化させたSi-DLC中間層とDLC膜の膜厚比による比較調査

*澤田 将哉¹、西本 明生² (1. 関西大学(院生)、2. 関西大学 化学生命工学部)

キーワード：表面改質処理、CVD、DLC、Si-DLC、中間層、膜厚比

本研究では、Si含有DLC（Si-DLC）を中間層として利用し、原料ガス組成を変化させることに着目した。また、Si-DLC中間層とDLC膜の膜厚比を変化させた際の機械的特性への影響を調査した。