4:05 PM - 4:35 PM
[K4.6] Light-controlled nanoparticle accumulation and device process applications
Keywords:レーザー、ナノ粒子、容積プロセス、微小気泡
レーザー光を固液界面に集光すると光熱により気泡が生じる.子の気泡は溶液に分散するナノ粒子等を濃縮し,基板表面へ集積する性質がある.これらの機構とパターン集積,デバイスプロセス展開について発表する.
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