16:05 〜 16:35
[K4.6] [基調講演]光制御によるナノ粒子集積とデバイスプロセス応用
キーワード：レーザー、ナノ粒子、容積プロセス、微小気泡
レーザー光を固液界面に集光すると光熱により気泡が生じる．子の気泡は溶液に分散するナノ粒子等を濃縮し，基板表面へ集積する性質がある．これらの機構とパターン集積，デバイスプロセス展開について発表する．
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