09:00 〜 09:40
[S6.6] [基調講演]偏光観察による次世代パワーデバイス半導体基板の欠陥解析
キーワード：偏光観察、パワー半導体、結晶欠陥、SiC
偏光観察による次世代パワーデバイス半導体基板の欠陥解析について解説する
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講演情報
公募シンポジウム講演
[S6] S6.材料変形素過程のマルチスケール解析(V)(2)
2022年9月22日(木) 09:00 〜 11:50 C会場 (D棟2階D22)
座長:高田 尚記(名古屋大学)、吉田 周平(京都大学)