[S8] S8.Materials Science and high temperature processing of widegap materials IV

[S8.1] Detection and analysis of dislocations in wide bandgap semiconductor crystals

*Yukari Ishikawa¹, Yongzhao Yao¹, Yoshihiro Sugawara¹, Koji Sato¹, Daisaku Yokoe¹ (1. Japan Fine Ceramics Center)

Keywords:4H-SiC、GaN、β-Ga₂O₃、転位、エッチング、大角度収束電子線回折、Ｘ線トポグラフィー、多光子励起顕微鏡

ワイドバンドギャップ結晶の転位検出・評価法である、エッチング、Ｘ線トポグラフィー、TＥＭ解析法の一種である大角度集束電子線回折、電子線誘起電流法、多光子励起顕微鏡法の適用例と新展開について紹介する。