[G] Surface ,Interface and Catalysts

[217] Effect of Al addition on oxidation resistance and diffusion of Fe of CrN-SiCN coatings

*Taichi ITO¹, Taiki Tsutiya¹, Seungwon Lee¹, Kenji Matsuda¹, Yoshifumi Aoi², Susumu Ikeno³, Masateru Nose³ (1. Univ. of Toyama, 2. Ryukoku Univ., 3. Professor Emeritus Univ. of Toyama)

Keywords:薄膜、スパッタリング、TEM、耐熱性、拡散

高速度工具鋼基板上に成膜したCrN-SiCN膜が高温化において基板が反応し大幅に劣化することを以前報告した。その後Al添加が耐熱性の向上に有効であることを見出しCrAlN-SiCN膜の耐熱性について調査を行った。