[G] 電気・電子・光関連材料

[116] [村上奨励賞受賞講演]カルコゲナイド材料の高機能化と次世代電子デバイスへの応用

*齊藤 雄太¹ (1. 産総研デバイス技術)

キーワード：カルコゲナイド薄膜、スパッタ法、層状物質、相変化メモリ、電子デバイス

スパッタ法によって作製したカルコゲナイド薄膜の成膜挙動の解明と、次世代電子デバイス応用について発表する。