[G] 電気・電子・光関連材料

[118] スパッタ法で成膜したVO₂薄膜の物性に及ぼすWドープの影響

*石原島 弘明^1,2、馬場 将亮¹、畑山 祥吾²、齊藤 雄太²、内田 紀行²、武田 雅敏¹ (1. 長岡技術科学大学、2. 産総研)

キーワード：金属ー絶縁体相転移、薄膜、同時スパッタ、機能性材料、VO₂

本研究は,VO₂薄膜に対するWドープの影響の調査を目的とする.XRD測定と電気抵抗の温度依存性の評価によって,スパッタ成膜したVO₂は室温で単斜晶相を示し,相転移による電気抵抗変化も確認された．