11:00 〜 11:45
[229] [招待講演]格子欠陥に着目した電気化学活性制御によるSiCの表面加工
キーワード:陽極酸化、SiC、格子欠陥、電気化学活性
SiCは耐食性や高硬度・耐摩耗性、広いバンドギャップなどの優れた特性を有する材料である。これまで未開拓であった電気化学手法によるSiCの表面加工について、格子欠陥による電気化学活性制御の観点から報告する。
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