[KS] Future Growth Expected from Technological History of Materials IV - Analytical and Evaluation Instruments -

[K2.5] Microstructure and compositional analysis using TEM and TEM, -current situation and perspective

*HARA Toru¹ (1. NIMS)

Keywords:電子顕微鏡、三次元的観察、組成分析

SEMおよびTEMを用いた組織解析技術について、いくつかの実例を紹介し、最近の変化と方向性を簡潔にまとめる。それを元に、今後の金属学の進展のためにさらに必要な技術とは何か、ということを考察する。