[KS] Future Growth Expected from Technological History of Materials IV - Analytical and Evaluation Instruments -

[K2.6] History and future in the observation technology of micro-structure of materials based on crystal orientation (EBSD method)

*SUZUKI Seiichi¹ (1. TSL Solutions KK)

Keywords:ECP 法、EBSD法、菊池パターン、Precession Electron Diffraction(PED)、ASTAR法

結晶方位の測定法の変遷を概説し、今日結晶方位に基づいた材料組織観察の中心的手法であるSEMEBSD法とTEM/ASTAR法の特徴や課題を説明する。さらにそれぞれの特徴に基づきこれらの技法の今後の展開について考察する。