[KS] K2.材料技術史から見るこれからの技術展開Ⅳ―分析機器・評価装

[K2.6] [基調講演]結晶方位に基づいた材料組織解析技法(EBSD法)の変遷と展望

*鈴木 清一¹ (1. (株)TSLソリューションズ)

キーワード：ECP 法、EBSD法、菊池パターン、Precession Electron Diffraction(PED)、ASTAR法

結晶方位の測定法の変遷を概説し、今日結晶方位に基づいた材料組織観察の中心的手法であるSEMEBSD法とTEM/ASTAR法の特徴や課題を説明する。さらにそれぞれの特徴に基づきこれらの技法の今後の展開について考察する。