16:45 〜 17:00
[235] Ag-Ag2O複合焼結材料を用いた高強度Ag/SiO2界面形成
キーワード：銀焼結接合、シリコン、接合界面、マイクロ力学試験、ナノ構造
本研究では，Ag2OとAgを複合した焼結材料を用いることによって，高強度を有する低温焼結接合の実現とともに，マイクロ引張試験を用いた接合界面の力学特性の測定，界面破壊機構を検討した．
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