[P] P199~P215

[P206] Rate-limiting Factors in Adsorption-induced Electrochromic Phenomena of InN Films

*Masaki Watanabe¹, Haruka Murotu², Yasushi Inoue³, Osamu Takai⁴ (1. 千葉工大工(学生)、2. TDK株式会社、3. 千葉工大工(教授)、4. 関東学院大材料)

Keywords:InN薄膜、反応性蒸着、斜入射堆積法、色変化、エレクトロクロミック

InN薄膜は従来のEC材料と比較して色変化速度が速いという利点がある.しかし色変化速度を決める要因はわかっていない.そこで基板加熱で作成したInN薄膜の柱状晶の空隙率と律速因子の関係を調査することを目的とした．