[P] P199~P215

[P207] Hardness and color of TiN thin films on addition of Yb

*BIN　ONN KHAIRUL　ABRAR¹, SHU SAWAYA¹, TSUNEO SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Tech.)

Keywords:薄膜、遷移金属窒化物、硬度、Ti-Yb-N

Si(100)基板上に様々なx値を持つTi_1-xYb_xN薄膜をPLD法により作製することに成功した。結果より、すべての試料はB1構造の単相薄膜であり、硬度は最大値29.0 GPaになり、約7%向上した。