[P] P199~P215

[P208] 周期的酸素欠損型HfO_2-xの創製と微細構造解析

*今村 海¹、松田 光弘²、庄﨑 雅裕³、志田 賢二³、松田 元秀² (1. 熊本大院自然、2. 熊本大院先端科学、3. 熊本大技術部)

キーワード：HfO₂、酸素欠損、衛星反射

我々は, 金属Hfに対して本研究室オリジナルの精密酸化プロセスを施すことで酸素欠損型HfO_2-xの作製に成功した。本試料にてTEM観察を行った結果, 酸素欠損の規則配列に由来すると考えられる衛星反射が確認された。