[P] P199~P215

[P209] Wear characteristics of Cantor alloy thin films using sputtering method

*Daisuke TANADA¹, Yozi MIYAZIMA², Kazuhiro ISHIKAWA² (1. Kanazawa Univ., 2. Inst. of Kanazawa Univ.)

Keywords:薄膜、金属薄膜、摩擦摩耗、レーザーアニーリング

スパッタリング装置を用いて作製したハイエントロピー合金のCantor合金薄膜に対して摩擦摩耗試験やレーザーアニーリングを利用することで摩擦特性等について解明した．