[S9] S9.Materials Science and high temperature processing of widegap materials V

[S9.2] Numerical Analysis of Macrostep Interaction via Carbon Diffusion Field in SiC Solution Growth

*Yuki Nakanishi¹, Kentaro Kutsukake^2,3, Shunta Harada^1,3, Miho Tagawa^1,3, Toru Ujihara^1,3 (1. Graduate School of Eng. Nagoya Univ., 2. AIP RIKEN, 3. IMaSS Nagoya Univ.)

Keywords:SiC、溶液成長、マクロステップ、数値解析

ＳｉＣ溶液成長において、高品質結晶の育成には、結晶表面マクロステップの緻密な制御が重要である。本研究では、数値計算により、成長時のマクロステップの不安定性について炭素の拡散場に注目した解析を行った。