[S9] S9.Materials Science and high temperature processing of widegap materials V

[S9.5] R&D for innovative SiC solution growth technology that achieves both high growth rate and high quality

*Takeshi Mitani¹ (1. AIST)

Keywords:SiC、溶液成長、ステップバンチング、溶媒組成、昇華再結晶法

溶液法の工業化に向けて求められる開発項目は多岐に渡る。これまでに取り組んできたSiC成長技術の開発成果を紹介しながら、従来の品質・生産性を凌駕し得る新たなSiC溶液結晶技術の可能性について議論を深めたい。