[S9] S9.ワイドギャップ結晶の材料学と高温プロセッシングV

[S9.5] [基調講演]成長高速化と高品質化を両立するSiC溶液成長技術の実現を目指して

*三谷 武志¹ (1. 産総研)

キーワード：SiC、溶液成長、ステップバンチング、溶媒組成、昇華再結晶法

溶液法の工業化に向けて求められる開発項目は多岐に渡る。これまでに取り組んできたSiC成長技術の開発成果を紹介しながら、従来の品質・生産性を凌駕し得る新たなSiC溶液結晶技術の可能性について議論を深めたい。