[P] P1~P7

[P6] Crystallization of Ge by sputtering on heated substrate coated with Au

*Hayahide AKASAKA¹, Kentaro KYUNO^1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)

Keywords:半導体薄膜

本研究では、低温でのGeの結晶化を目的として、Auで被覆した基板に、加熱とGeのスパッタを同時に行い、層交換を起こす方法を試みた。この方法で作製した試料の構造の評価を行った。