[G] 半導体・テラヘルツ光

[218] リフトオフプロセスによるβ-MnTeフレーク試料の作製と熱量測定

*森 竣祐¹、須藤 祐司^1,2 (1. 東北大工、2. 東北大材料科学高等研究所)

キーワード：MnTe、フレーク試料、応力、エンタルピー変化

スパッタリングにより成膜したβ-MnTe薄膜をリフトオフプロセスにより基板から分離した。得られたフレーク試料を用いて、基板から受ける応力の影響とβ→α相変化のエンタルピー変化を調査した。