1:40 PM - 1:55 PM
[S8.6] In situ biasing DPC STEM observation of electric field in a p-n junction depletion layer
Keywords:走査透過電子顕微鏡法、DPC STEM、その場観察、電子デバイス
微分位相コントラスト走査透過電子顕微鏡法(DPC STEM)による動作状態のデバイス材料局所電場・電荷挙動解析手法の開発を目的として、pn接合空乏層電場応答の観察および定量解析を実際に行った。
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