[S4] S4.Materials DX for the research and development of structural materials for extreme environment (II)（1）

[S4.6] Application of 3D microstructure characterization technique by FIB-SEM on MoSiBTiC alloys

*Toru HARA¹, Yuka HARA¹, Kyosuke YOSHIMI², Naoyuki NOMURA², Takahito OHMURA¹ (1. NIMS, 2. 東北大工)

Keywords:3D組織解析、MoSiBTiC合金、FIB-SEM

MoSiBTiC合金のバルクと微粒子の両方について、FIB-SEMシリアルセクショニングの手法を用いて三次元的に組織解析を行う手法を検討した。その技術的進展と実施例を紹介する。