[S4] S4.極限環境対応構造材料のためのマテリアルDX（Ⅱ）（1）

[S4.6] MoSiBTiC合金へのFIB-SEMシリアルセクショニングによる3D組織解析技術の応用

*原 徹¹、原 由佳¹、吉見 享祐²、野村 直之²、大村 孝仁¹ (1. NIMS、2. 東北大工)

キーワード：3D組織解析、MoSiBTiC合金、FIB-SEM

MoSiBTiC合金のバルクと微粒子の両方について、FIB-SEMシリアルセクショニングの手法を用いて三次元的に組織解析を行う手法を検討した。その技術的進展と実施例を紹介する。