[P] P7~P25

[P24] Development of STM observation method for the interior of metal samples using electric field evaporation by APT

*Kaito UEDA¹, Junnosuke Oishi¹, Shu Kurokawa² (1. Kyoto Univ., 2. Kyoto Univ.)

Keywords:3次元アトムプローブ、STM

本研究ではアトムプローブトモグラフィー法（APT法）をナノスケールの元素分析および試料表面作製手法として使用し，走査トンネル顕微鏡（STM）にてAPT試料の高分解能観察を行う複合法の開発を行った．