[P] P7~P25

[P24] APTによる電界蒸発を利用した金属試料内部のSTM観察手法の開発

*植田 海人¹、大石 純乃介¹、黒川 修² (1. 京大工（院生）、2. 京大工)

キーワード：3次元アトムプローブ、STM

本研究ではアトムプローブトモグラフィー法（APT法）をナノスケールの元素分析および試料表面作製手法として使用し，走査トンネル顕微鏡（STM）にてAPT試料の高分解能観察を行う複合法の開発を行った．