12:00 PM - 1:30 PM
[P78] Crystallization of Ge thin films by MIC method using AuSb alloys
Keywords:半導体、低温結晶化、薄膜トランジスタ、MIC法、金属誘起結晶化
MIC法は前駆体アモルファス半導体に金属を導入し低温で結晶化する方法である。本研究はMIC法を利用しAuおよびAuSbを金属触媒とした際のGe結晶の結晶性と電気特性の違いを明らかにすることを目的とする。
ポスターセッション
2.Materials Physics » Materials Physics
Wed. Sep 18, 2024 12:00 PM - 1:30 PM Poster Session Room2 (Studio A at Science Commons)
12:00 PM - 1:30 PM
Keywords:半導体、低温結晶化、薄膜トランジスタ、MIC法、金属誘起結晶化