[P] P80~P94

[P87] Improvement of Photocatalytic Functionality by Microstructure of TiO₂ Thin Films Prepared by Glancing-angle Reactive Sputtering

*CHEN YUSOU¹, Inoue Yasushi¹, Takai Osamu² (1. Chiba Inst. Technol, 2. Kanto Gakuin Univ)

Keywords:斜入射反応性スパッタリング法、TiO₂薄膜、微細構造、表面マイグレーション、光触媒

成膜中の基板を適切な温度に加熱することで結晶性の向上と斜入射TiO₂薄膜の離散的柱状構造化の実現に成功した．離散的柱状構造化TiO₂薄膜は，緻密な薄膜と比較して，光触媒効率が大きく向上することが確かめられた．