日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

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ポスターセッション

5.Materials Chemistry » Materials Chemistry

[P] P80~P94

Wed. Sep 18, 2024 12:00 PM - 1:30 PM Poster Session Room2 (Studio A at Science Commons)

12:00 PM - 1:30 PM

[P87] Improvement of Photocatalytic Functionality by Microstructure of TiO2 Thin Films Prepared by Glancing-angle Reactive Sputtering

*CHEN YUSOU1, Inoue Yasushi1, Takai Osamu2 (1. Chiba Inst. Technol, 2. Kanto Gakuin Univ)

Keywords:斜入射反応性スパッタリング法、TiO2薄膜、微細構造、表面マイグレーション、光触媒

成膜中の基板を適切な温度に加熱することで結晶性の向上と斜入射TiO2薄膜の離散的柱状構造化の実現に成功した.離散的柱状構造化TiO2薄膜は,緻密な薄膜と比較して,光触媒効率が大きく向上することが確かめられた.

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