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[P87] 斜入射反応性スパッタリング法により作製したTiO2薄膜の微細構造による光触媒特性の向上
キーワード:斜入射反応性スパッタリング法、TiO2薄膜、微細構造、表面マイグレーション、光触媒
成膜中の基板を適切な温度に加熱することで結晶性の向上と斜入射TiO2薄膜の離散的柱状構造化の実現に成功した.離散的柱状構造化TiO2薄膜は,緻密な薄膜と比較して,光触媒効率が大きく向上することが確かめられた.
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