[P] P80~P94

[P87] 斜入射反応性スパッタリング法により作製したTiO₂薄膜の微細構造による光触媒特性の向上

*陳 宇聡¹、井上 泰志¹、高井 治² (1. 千葉工大院工、2. 関東学院大材料・表面研)

キーワード：斜入射反応性スパッタリング法、TiO₂薄膜、微細構造、表面マイグレーション、光触媒

成膜中の基板を適切な温度に加熱することで結晶性の向上と斜入射TiO₂薄膜の離散的柱状構造化の実現に成功した．離散的柱状構造化TiO₂薄膜は，緻密な薄膜と比較して，光触媒効率が大きく向上することが確かめられた．