日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

講演情報

ポスターセッション

5.材料化学 » 材料化学

[P] P80~P94

2024年9月18日(水) 12:00 〜 13:30 ポスターセッション会場2 (サイエンスコモンズ・スタジオA)

12:00 〜 13:30

[P87] 斜入射反応性スパッタリング法により作製したTiO2薄膜の微細構造による光触媒特性の向上

*陳 宇聡1、井上 泰志1、高井 治2 (1. 千葉工大院工、2. 関東学院大材料・表面研)

キーワード:斜入射反応性スパッタリング法、TiO2薄膜、微細構造、表面マイグレーション、光触媒

成膜中の基板を適切な温度に加熱することで結晶性の向上と斜入射TiO2薄膜の離散的柱状構造化の実現に成功した.離散的柱状構造化TiO2薄膜は,緻密な薄膜と比較して,光触媒効率が大きく向上することが確かめられた.

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