[P] P80~P94

[P88] Ti-Al系コンビネーションスクリーンを用いたプラズマ窒化に及ぼすガス圧の影響

*中塚 裕¹、星山 康洋²、丸岡 智樹³ (1. 関西大学（院生）、2. 関西大学、3. 京都市産業技術研究所)

キーワード：プラズマ窒化、表面改質処理、ステンレス鋼、Ti-Al-N、窒素拡散層

従来の窒化法である直流プラズマ窒化処理に、Ti-Al系コンビネーションスクリーンを加えてステンレス鋼を窒化することにより、窒素拡散層の上にTi-Al-N層を形成し、ステンレス鋼の表面を高機能化させる実験を行った。