[P] P99~P106

[P99] MgH₂ epitaxial thin film growth using radical-hydrogen reactive infrared laser deposition

*Yuki SHIMOMAN¹, Kota MUNEFUSA¹, Yosuke ISODA², Takuya MAJIMA³, Daisuke KAN², Takayuki HARADA⁴, Hiroyuki OGUCHI¹ (1. Shibaura Tech., 2. ICR, Kyoto Univ., 3. Kyoto Univ., 4. NIMS)

Keywords:金属水素化物、赤外レーザー蒸着法、機能性材料

金属水素化物は水素由来の特殊な物性を示し得る機能性材料である。本研究では、独自のラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着法によりMgH₂薄膜を合成し、エピタキシャル薄膜の獲得と薄膜の更なる高品質化に挑戦した。