[P] P175~P182

[P176] ポリイミド基板上に作製した高保磁力 SmCo₅ 系薄膜の構造と磁気特性

*村形 幸作¹、三浦 勇人¹、工藤 至恩¹、土井 正晶¹、嶋 敏之¹ (1. 東北学院大工)

キーワード：SmCo₅、Polyimide、Coercivity、Thin film

フレキシブル基板上に高性能硬磁性薄膜を作製することができればMEMS技術のさらなる発展が期待できる。本研究では、ポリイミド基板上にSm(Co-Cu)₅ 薄膜を作製し、その結晶構造及び磁気特性について詳細に調査した。