[P] P183~P185

[P185] Investigation of the phase-change behaviors of Cr-Te thin films

*Takuya Tsuruta¹, Yi Shuang², Daisuke Ando¹, Yuji Sutou^1,2 (1. Tohoku Univ.(Eng.), 2. Tohoku Univ.(AIMR))

Keywords:薄膜材料、多形相変化材料、相変化メモリ、Cr-Te二元系合金

高速動作・大容量・低消費電力のメモリ実現に向け、相変化メモリに注目した。このメモリのコア材料となる相変化材料として、Cr-Te二元系材料に注目し、相変化挙動の調査、およびメモリ特性の評価を行った。