[P] P186~P200

[P195] Fabrication of Discrete Nanocolumnar InN Films by Glancing-angle Reactive Evaporation on ITO Surface with Microroughness

*Masaki Watanabe¹, Yasushi Inoue¹, Osamu Takai² (1. Chiba Inst. Technol, 2. Kanto Gakuin Univ)

Keywords:InN薄膜、ITO、蒸着法

窒化インジウムは，従来のEC材料と比較して，色変化の速度が速い．しかし，その速度を決定する要因が分かっていない。本研究では，基板として用いるITO表面凹凸を意図的に変化させ，EC特性に対する影響を調査した.