[P] P293~P306

[P299] Preparation of Hydroge-doped CrN Thin Films

*Kouma TASHIRO¹, Shu SAWAYA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of technol.)

Keywords:PLD、薄膜、遷移金属窒化物、窒化クロム、水素

水素を導入した雰囲気化でSi(1 0 0)基板上に窒化クロム薄膜をPLD法で作製した。FT-IRとXRDを用いて分析した結果、純CrN薄膜と比較して両方でピークの位置に変化が観られた。