[P] P293~P306

[P300] Preparation of Reference Samples for Determination of Trace Amounts of Oxygen
by Resonant Nuclear Reaction

*Naoki NAGASHIMA¹, Shu SAWAYA¹, Bin　Onn KHAIRUL　ABRAR¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、薄膜、標準試料、ラザフォード後方散乱分光法

酸素含有量が任意の標準試料としてNiとYb₂O₃の2相で構成される薄膜を作製することに成功した。この試料を使用して共鳴核反応を利用したラザフォード後方散乱分光法で酸素含有量を高精度分析できることが確認できた。