Preparation and hardness evaluation of Cr-Zn-N-O thin films with substitution solid solution of CrN into high-pressure phase ZnO

4:00 PM - 5:30 PM

[P301] Preparation and hardness evaluation of Cr-Zn-N-O thin films with substitution solid solution of CrN into high-pressure phase ZnO

*Kenta SUITANI¹, BIN　ONN KHAIRUL　ABRAR¹, Shu SAWAYA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度

本研究では超高真空下でPLD法によりCr-Zn-N-Oの合成を試みた。結果より、成膜により得た薄膜は(Cr, Zn)(N, O)とZnOの2相構造となり、硬度も純ZnO薄膜より上昇した。