[P] P293~P306

[P302] Deposition of novel Cr-Yb-N-O thin films and its hardness by PLD

*Bin　Onn KHAIRUL　ABRAR¹, Shu SAWAYA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度、Cr-Yb-N-O

CrNとYbOの固溶体である(Cr,Yb)(N,O)が合成できた。PaO2=5.0×10-6では最大の硬度を示したが、YbOを添加しても15％以上の差を持ち、Cr金属と2相薄膜となる可能性高いので、大きな硬度の向上が確認できなかった。