日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

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ポスターセッション

5.Materials Chemistry » Materials Chemistry

[P] P293~P306

Wed. Sep 18, 2024 4:00 PM - 5:30 PM Poster Session Room2 (Studio A at Science Commons)

4:00 PM - 5:30 PM

[P302] Deposition of novel Cr-Yb-N-O thin films and its hardness by PLD

*Bin Onn KHAIRUL ABRAR1, Shu SAWAYA1, Tsuneo SUZUKI1 (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度、Cr-Yb-N-O

CrNとYbOの固溶体である(Cr,Yb)(N,O)が合成できた。PaO2=5.0×10-6では最大の硬度を示したが、YbOを添加しても15%以上の差を持ち、Cr金属と2相薄膜となる可能性高いので、大きな硬度の向上が確認できなかった。

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