[P] P26~P39

[P38] 窒化ガリウムおよび燐化ガリウムの転位挙動に及ぼす光環境効果

*木下 凌輔¹、李 燕²、大栗 洋人¹、栃木 栄太³、中村 篤智² (1. 阪大基礎工（院生）、2. 阪大基礎工、3. 東大生研)

キーワード：ナノインデンテーション、化合物半導体、転位、光、TEM

光インデンテーション法を用いて，GaN，GaP単結晶の転位挙動に及ぼす光環境効果を評価した．外部光環境は転位の生成にはほとんど影響を与えないが，運動には大きく影響を及ぼすことが確認された．