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[294] 膜厚の異なるFe-Crエピタキシャル膜の磁化曲線形状に与えるHe+照射効果
キーワード:イオン照射、薄膜、磁気特性、照射損傷、キャビティ
高照射量下での鉄クロム合金の磁性に与える影響を調べるために、薄膜の膜厚やCr濃度を変えてHeイオンを照射し、TEM等を用いて構造・磁気特性変化を調べ、磁気ヒステリシス曲線の形状変化に着目して考察した。
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