13:30 〜 13:45
[38] 銅・亜鉛添加非晶質リン酸カルシウム膜の作製と評価
キーワード:リン酸カルシウム、表面処理
RFマグネトロンスパッタリング法によりCuおよびZn添加非晶質リン酸カルシウム膜をTi基板上に作製し、その成膜条件と添加元素が膜の性状および溶解性に及ぼす影響を調査した。
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