日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

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一般講演

9.Electric/Electronic/Optical Materials » Magnetic Materials

[G] Spintronics/nanomagnetic materials, magnetic functional materials

Fri. Sep 20, 2024 9:00 AM - 12:30 PM Room B (A002 basement 1st floor Building A Center for Education in Liberal Arts and Sciences)

座長:梅津 理恵(東北大学)、白土 優(大阪大学)

10:00 AM - 10:15 AM

[67] Investigation of methods for evaluating the thickness direction structural of nanogranular films by small angle X-ray scattering

*Takuto HASEGAWA1, Hanae AOKI3, Hiroshi MASUMOTO3, Masato OHNUMA2 (1. 北大(院生)、2. 北大、3. 東北大)

Keywords:X線小角散乱法、ナノグラニュラー膜、光デバイス、タンデムスパッタリング、構造異方性

タンデムスパッタリングにより作製された、磁性体粒子が膜厚方向に異方的に分散したナノグラニュラー膜を、試料ホルダー内にスペーサーを設けることでX線入射角を変化させながらラボSAXS法により測定した。

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