[G] Spintronics/nanomagnetic materials, magnetic functional materials

[67] Investigation of methods for evaluating the thickness direction structural of nanogranular films by small angle X-ray scattering

*Takuto HASEGAWA¹, Hanae AOKI³, Hiroshi MASUMOTO³, Masato OHNUMA² (1. 北大(院生)、2. 北大、3. 東北大)

Keywords:X線小角散乱法、ナノグラニュラー膜、光デバイス、タンデムスパッタリング、構造異方性

タンデムスパッタリングにより作製された、磁性体粒子が膜厚方向に異方的に分散したナノグラニュラー膜を、試料ホルダー内にスペーサーを設けることでX線入射角を変化させながらラボSAXS法により測定した。